
Силан (SiH4) – специальный газ для электроники, полученный хлорсилановым способом для получения SiH4, прост в получении сырья, в мягких условиях, легко поддается переработке.
Силан (SiH4) - специальный газ для электроники, полученный хлорсилановым способом для получения SiH4, прост в получении сырья, в мягких условиях, легко поддается переработке.
Промышленная газификация кремния
Si + 3SiCl4 + 2H2 → 4SiHCl3
2SiCl4 + 2H2+ Si + HCl → 3SiHCl3
Диспропорционирование трихлорсилана
4SiHCl3 → 3SiCl4 + SiH4
1.Схема работы сверхфункционального реактора, основанная на ректификации реакции
2.Коэффициент конверсии: 0,2%(xeq) → Почти 100%
3.Материальный цикл: сокращение почти на 90%
4.Инвестиции в оборудование: Сокращены более чем на 20%
5.Эксплуатационные расходы: Снижены более чем на 30%
6.Чистота продукта превышает 6N (99,9999%).